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Erase Operation과 Electron 방출 및 방전 지우기 동작에 대한 설명 지우기 operation은 block 단위로 수행하지만, Floating Gate로부터의 전자 방출은 셀 레벨로 표현하는 것이 좋겠다. 지우기 상태란, 물리적으로는 전자가 충전되지 않은 평형상태 혹은 전자가 소거된 Floating Gate의 상태이고, 지우기 operation은 정공을 충전시키거나 전자를 방전시켜서 Floating Gate가 Plus Potential 화 되어가는 동작이다. Floating Gate에 정공이 충전되면 기판에 전자 Channel이 활성화되고, 이를 bridge 삼아 소스에서 드레인으로 전자가 원활히 흐르므로 지워진 셀은 On 셀로 표현한다. 즉, 지워진 상태는 셀에 프로그램을 진행하기 전의 프로그램을 하기 위한 준비된 상태이고, 지우기 분포는 프로그.. 2022. 10. 3.
Program Verification에 대한 설명 Program Verification 이란 프로그램 operation을 실행한 후에는 Verification 전압을 Control Gate에 가하면서 Verification을 하여, Program 분포가 얼마나 narrow 하게 잘 형성되었는지, 또 target program 전압의 레벨 이상으로 program이 안착하였는지 확인할 필요가 발생하고, 이런 확인하는 동작을 Program verification이라고 한다. 모든 Floating Gate가 지워진 상태일 때는 일정 레벨을 기준으로 프로그램 Verification을 실시하면, 모든 셀이 On 상태로 나타난다. 지워진 상태부터 출발하여 프로그램이 점차 진행되면서 Verification 결과에 따라, 추가적인 프로그램을 진행하여 셀들이 일정 레벨 .. 2022. 10. 3.
ISPP(Incremental Step Pulse Program) 란? Incremental Step Pulse Program의 설명 문턱 전압 분포 width를 줄이려면, One Pulse 프로그램 방식이 아니고, step 폭이 작지만, 여러 step으로 나눈 프로그램 방식을 사용하는데, 이를 ISPP(Incremental Step Pulse Program)라 한다. ISPP는 프로그램 시의 전압을 세분화하여 단계별로 전압을 조금씩 올리는 방식이다. 한 wafer 상의 민감도가 제각기 상이한 셀들은 page 단위로 프로그램하기 위하여는 프로그램 시에 프로그램할 target 셀의 word line에 가하는 약 16V~20V 사이의 전압을 일시에 높은 전압으로 가하지 않고, starting bias 전압으로는 프로그램이 가장 잘 되는 셀에 기준을 맞추어, 되도록 낮은 bias.. 2022. 10. 3.
Cell과 Bit Line의 Inhibit 동작에 대한 이해 Inhibit 동작에 대한 설명 Inhibit이란 activity가 발생되지 않도록 막는 것을 말하며, 낸드는 inhibit operation을 자주 사용한다. inhibit은 Cell inhibit, Bit line inhibit, block inhibit이 있다. 프로그램 시에는 Cell inhibit과 Bit Line inhibit을 사용하고, 지우는 동작에서는 block을 inhibit 시켜서 target block 이외 block의 지우기를 막는다. 칩의 write protection도 chip의 프로그램 동작이 불가능하도록 하는 chip inhibit의 일종인 것이다. Cell Inhibit과 Bit Line Inhibit에 대한 설명 Cell Inhibit의 목적은 프로그램이 완료된 셀의 F.. 2022. 10. 3.